MEMSおよび半導体パッケージ用感光性フォトレジスト

KMPR100
SU-8 3000
PMGI & LOR
Remover K

KMPR100 | 製品ラインナップ | 日本化薬株式会社

SU-8 3000
SU-8 3000 はエポキシ樹脂ベースの永久膜用ネガ型フォトレジストです。
マイクロマシンやマイクロエレクトロニクス用途として、化学的及び熱的に安定した構造物が得られるように設計されています。


特徴
優れた密着性
塗膜の応力緩和
高アスペクト比
矩形形状
厚膜塗布
優れたドライエッチング耐性
詳しい情報はこちら→PDF
su8_3000