MEMSおよび半導体パッケージ用感光性フォトレジスト

KMPR100
SU-8 3000
PMGI & LOR
Remover K

KMPR100 | 製品ラインナップ | 日本化薬株式会社

kmpr1000
KMPR 1000 はエポキシ樹脂をベースにした剥離タイプのフォトレジストです。
厚膜を形成することができるため高アスペクト比の形成が可能です。
さらに、密着性、耐薬品性、耐プラズマ性に優れているため、MEMS、電解めっき、ドライエッチングなどに適しています。
特徴
厚膜の塗布が可能(6〜120μm)
アルカリ現像(TMAH 2.38%)
Remover PG、Remover K で剥離が可能
高アスペクト比
優れためっき耐性
優れたドライエッチング耐性
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kmpr1000